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IXY 系列雙軸高精密運動平臺  2022-01-26

卓越的高精密運動臺設計: IXY系列高精密運動平臺優化了高剛性和高動態性能設計,滿足最高動態性能要求的各種應用,是適用于光學、生化、電子制造等領域的理想的雙軸高精密運動系統。

卓越的精度和穩定的性能: IXY系列運動平臺具有高精度和高運動性能等特點。瑞熒公司基于高精度機械和運動控制相結合的先進整體系統設計,生產出高精度和高性能的單軸、雙軸、多軸高精密運動平臺。

產品型號
縱向   橫向
型號 貨號 操作 名稱
IXY100-PAA-CMS E80100007 IXY 系列雙軸高精密運動平臺   [PDF] IXY100: 行程100X100 光柵尺類型-P: Invar Based Scale 編碼器輸出AA: Sin/Cos 電纜輸出-CMS: With CMS Box 8-10周
通用參數

產品特點

結構精巧的雙軸高精密運動平臺

雙電機可實現高產量

高剛性,良好的兼容性

導向精度高,精準定位


產品應用

二維激光加工

激光直寫

光學測量

自動顯微鏡


技術參數


IXY100

IXY200

行程

100mm

200mm

精度

-P: 1.0μm

-C: 1.5μm

-P: 1.5μm

-C: 2.0μm

重復定位精度(3σ)

-P: 0.3μm

-C: 0.6μm

-P: 0.5μm

-C: 0.8μm

運動分辨率 *1

AA: 10nm

DS: 200nm

AA: 10nm

DS: 200nm

最大速度 *2

200mm/s

300mm/s

最大加速度 *2

0.5g

0.5g

水平方向直線度

1.5μm

3μm

垂直方向直線度

2μm

4μm

偏航角

15μrad

30μrad

俯仰角

50μrad

100μrad

裝載質量 *3

10kg

20kg

*1 針對不同的控制器、驅動器、環境振動和結構的系統設計可實現不同的運動分辨率,歡迎垂詢。

*2 針對不同承載重量、控制器、驅動器的系統設計可實現不同的速度和加速度,歡迎垂詢。

*3 歡迎與瑞熒公司工程師團隊交流具體裝載質量等參數要求,優化高精密運動平臺設計。

訂購信息

型號示例:

IXY100/IXY200 – PAA – CMS


型號說明:

系列

行程

光柵尺類型

編碼器輸出

電纜輸出

IXY

100:   100X100

-P:   Invar Based Scale

AA:   Sin/Cos

-CMS: With   CMS Box


200: 200X200

-C: Gold Tape   Scale

DS: 100nm A/B/Z

-C01: 1m Cable




DC:   Customize

-C03: 3m   Cable

 

控制系統:

1、根據精密運動平臺參數和應用要求,提供不同的控制系統方案。 

2、精密運動臺端口和電機參數兼容常見運動控制卡及驅動器。


 

尺寸圖


系列

S

A

H

M

IXY100

100

255

102

150

IXY200

200

365

102

200

單位


(unit   in mm)











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